公开/公告号CN100445714C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-12-24
原文格式PDF
申请/专利权人 西门子公司;
申请/专利号CN200480022811.6
发明设计人 卡尔海因茨·阿姆特曼;
申请日2004-08-05
分类号G01L1/22(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人张亮
地址 德国慕尼黑
入库时间 2022-08-23 09:01:39
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2008-12-24
授权
授权
2006-10-25
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-09-13
公开
公开
机译: 一种基于电阻传感器的测量监视方法,监视装置和工业规模
机译: 一种基于电阻传感器的测量监视方法,监视装置和工业规模
机译: 膜厚监视装置传感器,包括该膜厚监视装置传感器的膜厚监视装置以及膜厚监视装置传感器的制造方法