公开/公告号CN110945641B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-08
原文格式PDF
申请/专利权人 长江存储科技有限责任公司;
申请/专利号CN201980002584.7
申请日2019-10-30
分类号H01L21/68(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构11376 北京永新同创知识产权代理有限公司;
代理人杨锡劢;赵磊
地址 430074 湖北省武汉市东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
入库时间 2022-08-23 11:55:19
机译: 校准粒子束垂直度的方法和应用于半导体制造过程的系统
机译: 校准粒子束垂直度的方法和应用于半导体制造过程的系统
机译: 用于校正应用于半导体制造过程的粒子束垂直度的方法和系统