用于测量检查对象的太赫兹测量设备以及太赫兹测量方法

摘要

本发明涉及一种用于测量检查对象（7）的太赫兹测量设备（1），太赫兹测量设备具有：THz发送与接收单元（2），用于沿着光学轴线（A）在发射空间角（4）中发送太赫兹辐射（3）、接收经反射的太赫兹辐射（8）以及产生信号幅度（S）作为时间或频率（t，f）的函数；和控制与评估装置（12），用于接收和评估信号幅度（S）。在此，控制与评估装置（12）由信号幅度（S）确定检查对象（7）的缺陷点（10，110）。尤其可以遮住所发送的太赫兹辐射（3）的核心区域（4a）。替代的测量装置同样可以通过太赫兹辐射的垂直的输入耦合来发现缺陷点，其方式是，探测附加的测量峰值，所述测量峰值不能够分配给单纯的层厚度测量。