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公开/公告号CN109490401B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-28
原文格式PDF
申请/专利权人 南京大学;
申请/专利号CN201811373029.9
发明设计人 张莹刚;杨涛;朱志勇;陈永权;
申请日2018-11-19
分类号G01N27/62(20210101);
代理机构32237 江苏圣典律师事务所;
代理人贺翔
地址 210093 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号
入库时间 2022-08-23 11:51:52
机译: 皮秒激光微加工系统,光束强度控制系统,激光铣削切割方法,光束强度分布控制方法,微滤镜设计方法,反射角校正方法,光散射方法校正滞后效应和操作扫描镜的方法
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