三波长可变尺度干涉显微成像系统、成像方法及三相位复原方法

摘要

本发明公开了三波长可变尺度干涉显微成像系统、成像方法及三相位复原方法，包括沿着并排分布的第一激光器、第二激光器和第三激光器的输出方向依次连接的光纤耦合器、准直器和第一分光棱镜；第一分光棱镜将激光分为物光光路和参考光光路；参考光光路上依次放置有第一反射镜、第二分光棱镜、第二反射镜和PZT相移器；物光光路上依次放置有第三分光棱镜、显微物镜和微器件样品；第三分光棱镜的反射光路上设置有CCD相机，所述物光光路和参考光光路汇聚到第三分光棱镜后，在CCD相机上形成三波长广义相移全息图。本发明可靠性高、稳定性强和共光路好，可实现单、双和三波长多尺度免解包选择性匹配融合成像方法，多角度精确解构出不同尺度微器件高精形貌。