公开/公告号CN109946234B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-25
原文格式PDF
申请/专利权人 英飞凌科技股份有限公司;
申请/专利号CN201811565692.9
申请日2018-12-20
分类号G01N21/17(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人郑立柱;张鹏
地址 德国诺伊比贝尔格
入库时间 2022-08-23 11:50:25
机译: 利用光声效应进行检查的装置,检查支持方法和程序
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