公开/公告号CN110500978B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-25
原文格式PDF
申请/专利权人 上海交通大学;
申请/专利号CN201910908768.1
申请日2019-09-25
分类号G01B21/00(20060101);G01B21/22(20060101);G01B21/20(20060101);G01B11/24(20060101);
代理机构31201 上海交达专利事务所;
代理人王毓理;王锡麟
地址 200240 上海市闵行区东川路800号
入库时间 2022-08-23 11:50:13
机译: 具有圆盘构件的零点位置补偿功能的水流控制装置及其零点位置补偿方法
机译: 零点偏差校正系统,零点偏差校正装置以及用于校正惯性传感器的零点偏差的零点偏差校正方法
机译: 经编机,具有在图案形成装置的零点和机座之间设置的热解耦元件,以及相对于图案形成装置沿着位移方向向零点可移动的导杆。