用于从气相中沉积超细颗粒的装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于对挥发性化合物进行热分解且沉积随后形成的颗粒的装置，所述装置至少包括以下特征功能部件：压力容器，至少一条反应管道，所述反应管道的开口端延伸进入所述压力容器内且所述反应管道的另一端位于所述压力容器外部且设有气体供给装置，所述反应管道的纵轴沿重力方向进行取向且平行于所述压力容器的纵轴，且所述反应管道可在气体入口侧上受到加热且在气体出口侧上受到冷却，所述压力容器在其下部具有收集锥体，所述反应管道的所述开口端延伸进入所述收集锥体的气体空间内，所述收集锥体被连接至颗粒的出口闭锁装置，和气体出口单元，所述气体出口单元配有气体导引装置、过滤器系统和气体出口，所述气体导引装置的气体入口区域与所述收集锥体的所述气体空间连通，所述气体出口位于所述压力容器外部。