公开/公告号CN107408497B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-18
原文格式PDF
申请/专利权人 新南创新私人有限公司;
申请/专利号CN201680015469.X
申请日2016-03-11
分类号H01L21/268(20060101);H01L21/428(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人吕俊刚;杨薇
地址 澳大利亚新南威尔士州
入库时间 2022-08-23 11:49:39
机译: Ga掺杂的晶体硅,在太阳能电池的生产方式及其制造方式中,使用Ga掺杂的晶体硅生产装置的零掺杂的Ga掺杂的晶体硅,以及Ga掺杂的晶体硅
机译: 将掺杂元素引入硅层中的方法,多晶硅太阳能电池的制造方法,多晶硅薄膜晶体管的制造方法以及将掺杂元素引入硅层中的装置
机译: Ga掺杂的结晶硅,用于生产相同的过程,Ga掺杂的结晶硅生产设备,用于太阳能电池,包括基质,掺杂有GA掺杂的结晶硅,以及用于生产相同方法的太阳能电池