一种巨磁阻抗效应磁敏传感器及制备方法

摘要

本发明一种巨磁阻抗效应磁敏传感器及制备方法，包括磁敏材料、三维微型感应线圈和电路部分；采用玻璃包覆非晶丝作为磁敏材料，通过离子束溅射刻蚀技术在玻璃包覆非晶丝上直接制备三维微型感应线圈，绕有三维微型感应线圈的玻璃包覆非晶丝形成磁敏传感单元，将若干个磁敏传感单元组合并置于传感器基体中，引出导线后一体化集成到电路部分，得到磁敏传感器，通过信号采集处理电路实现对磁场传感器的信号激励及磁场感应信号的采集，来测量空间中的磁场变化。基于离子束溅射刻蚀技术制备出来的磁敏传感器具有高灵敏度、体积小、稳定性高的特点，解决了微型感应线圈三维成形和精确组装的难题，提高器件灵敏度，效率高，性能稳定，良品率高。