一种可同时测量滚转角和直线度的双频激光干涉仪

摘要

本发明公开一种可同时测量滚转角和直线度的双频激光干涉仪，包括双频激光头和中性分光镜，在中性分光镜透射或反射形成的第一测量光路上依次设置第一偏光分束镜、第二偏光分束镜和基准反射镜，在中性分光镜反射或透射形成的第二测量光路上依次设置平面反射镜以及第一偏光分束镜、第二偏光分束镜和基准反射镜，第二偏光分束镜、第一偏光分束镜和第一偏振光电接收器/第二偏振光电接收器还依次位于第一测量光路/第二测量光路从基准反射镜反射后返回光的光路上。本发明能同时完成滚转角和直线度的的测量，不仅光学零件数目减少，而且调整过程的工作量减半，而且可以消除由于第一测量光和第二测量光不平行所引起的滚转角误差，使测量精度大大提升。