激光直线度干涉仪浅析

摘要

激光直线度干涉仪是高精度的直线度测量仪器,其测量附件有好几种。本文重点介绍了几种激光干涉仪直线度测量附件,分析了它们的优缺点和技术特点,并提出了直线度测量容易忽视的几个问题。