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一种基于多层石墨烯为牺牲层的聚酰亚胺薄膜剥离方法

摘要

本发明属于新应用技术领域,更具体地,涉及一种基于多层石墨烯为牺牲层的聚酰亚胺薄膜剥离方法。本发明提供的一种基于多层石墨烯为牺牲层的聚酰亚胺薄膜剥离方法,其通过在基板与聚酰亚胺薄膜之间设置多层石墨烯薄膜,得到基板/多层石墨烯薄膜/聚酰亚胺薄膜叠层,以石墨烯薄膜为牺牲层,借由多层石墨烯薄膜层与层之间弱的范德华力,通过外力破坏石墨烯薄膜层与层之间的范德华力,将聚酰亚胺薄膜从基板上剥离。多层石墨烯层与层之间是有范德华力连接,与石墨一样可以滑动,利用此性质,可以有效地削弱高温后聚酰亚胺薄膜与玻璃基板之间的粘附作用。本发明提供的剥离方法简单,剥离效果稳定,且不影响聚酰亚胺薄膜性质。

著录项

  • 公开/公告号CN110867533B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-05-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 华中科技大学;

    申请/专利号CN201911190250.5

  • 发明设计人 屠国力;刘相富;马金明;王荣文;

    申请日2019-11-28

  • 分类号H01L51/56(20060101);C08J5/18(20060101);C08L79/08(20060101);

  • 代理机构42201 华中科技大学专利中心;

  • 代理人彭翠;李智

  • 地址 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

  • 入库时间 2022-08-23 11:48:49

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