一种改善柔性AMOLED激光剥离后黑斑不良的牺牲层

摘要

柔性AMOLED是OLED产业近年来发展并力争实现量产的重点,而激光剥离(LLO,Laser Lift Off)是实现柔性显示的关键技术之一,其量产工艺的成熟度关系到与玻璃基板分离后的柔性产品的信赖性好坏和良率高低.本文介绍了改善柔性AMOLED屏体LLO后出现黑斑不良的工艺方法和一种牺牲层结构,该牺牲层具有结构简单、与现有量产线兼容无需新增制程、效果显著的优点,已应用于开发的所有柔性产品中,取得了显著的提升良率效果.