应用拉曼光谱仪测试纤锌矿结构单晶晶向的方法及系统

摘要

本申请公开了一种应用拉曼光谱仪测试纤锌矿结构单晶晶向的方法及系统。所述方法包括：提供拉曼光谱仪；使所述拉曼光谱仪光源射出的光线聚焦后作为入射光照射到纤锌矿结构单晶样品上，且所述入射光与散射光的偏振方向平行；在不改变所述入射光和散射光偏振方向的情况下，使所述样品绕一旋转轴旋转，同时采集所述样品的拉曼图谱，所述旋转轴选自与所述样品的m轴、a轴、c轴相同或平行的轴线；依据所采集样品的拉曼图谱中的信号峰，确定相应的样品单晶晶向。藉由本申请的方法，可以实现对纤锌矿结构单晶(例如AlN单晶、GaN单晶等)晶向进行高空间分辨率的准确测试，且操作简单便捷，对样品无损伤，亦无需复杂设备和制样工作，成本低廉。