一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构、清洗设备

摘要

本发明涉及一种十二寸与八寸炉管兼容的机械手机构、清洗设备，支架的底部设置炉管挂钩，支架的下方侧面设置防滑挡板，支架，炉管挂钩和防滑挡板支撑炉管，支架的上部设置升降基座，升降基座和升降丝杆啮合，升降丝杆由升降电机驱动，升降电机固定在升降支撑板上，升降丝杆通过两端的轴承固定在升降支撑板上，升降支撑板上两侧设置第一滑轨，第一滑轨和升降基座的卡槽配合；升降支撑板的底部和平移丝杆啮合，平移丝杆由移动电机驱动，移动电机固定在水平基座上，平移丝杆通过两端的轴承固定在水平基座上，水平基座的两侧设置第二滑轨，第二滑轨和升降支撑板的底部卡槽配合。本发明能兼容不同规格的晶圆、降低成本、实现自动移位。