公开/公告号CN110318031B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-04
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院过程工程研究所;
申请/专利号CN201910619516.7
申请日2019-07-10
分类号C23C16/06(20060101);C23C16/44(20060101);
代理机构11472 北京方安思达知识产权代理有限公司;
代理人陈琳琳;张红生
地址 100190 北京市海淀区中关村北二条1号
入库时间 2022-08-23 11:44:00
机译: 基材局部冷却装置,用于控制流态化材料的流态化材料的端部部分薄膜厚度的装置,用于涂布流态化材料的装置,用于将流态化的多孔质化材料用于根据方法进行控制的材料
机译: 流态化材料,流态化地球和流态化方法
机译: 氧化锆的流态化和氯化方法