公开/公告号CN110686620B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-04
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备(集团)股份有限公司;
申请/专利号CN201810739177.1
发明设计人 吴萍;
申请日2018-07-06
分类号G01B11/26(20060101);
代理机构11332 北京品源专利代理有限公司;
代理人孟金喆
地址 201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号
入库时间 2022-08-23 11:43:52
机译: 光栅尺的安装装置及安装方法,光栅尺测量系统及光刻机
机译: 宏微复合光栅尺测量系统及使用该系统的测量方法,包括宏读取模块,微读取模块和测量基准线
机译: 长度和角度红外测量系统-通过将平面发光二极管倾斜到光栅来提供梯形强度分布,并指定与光束宽度,二极管到光栅的距离以及扫描平面到光栅的距离有关的条件