一种用于紫外光线追踪仿真的薄膜吸收率测试方法

摘要

本发明公开了一种用于紫外光线追踪仿真的薄膜吸收率测试方法，针对同一紫外线光学检测系统，对同批不同厚度的薄膜样品依次进行紫外反射率和紫外透光率的测试与计算，采用指数型拟合得到拟合公式，预测厚度值直接计算得到该薄膜样品的紫外吸收率。本发明提供的一种用于紫外光线追踪仿真的薄膜吸收率测试方法，将反射率检测与透射率检测分开为两个工作区域，两者独立工作、互不干扰，提高了数据的准确性，且使用方便、计算高效，不会坏掉薄膜样品；采用指数型拟合的函数相关度更高，保证了在紫外线光学检测过程中提取出精准高效的紫外波长数据进行计算，保障了拟合函数的数据有效性，同时也进一步提高了光线检测的效率。