用于线性涂布机中的清洗液过滤装置、方法及线性涂布机

摘要

本发明实施例公开了一种用于线性涂布机中的清洗液过滤装置，包括：容器本体，其一侧通过第一管道与线性涂布机中盛放清洗液的清洗槽的底部连通；设置于所述容器本体内的至少一层过滤膜片，用于过滤所述清洗液中的光阻以及光阻添加剂；输送管道，用于将所述经过滤后的清洗液输送至所述清洗槽中。本发明还提供了相应的方法和线性涂布机。实施本发明实施例，可以对线性涂布机中的清洗液进行过滤，提高了清洗液的使用寿命，并提高了涂布效果。