使用偏振目标及偏振照明以控制衍射级的振幅及相位

摘要

本发明提供计量学散射测量目标、光学系统及对应计量学工具及测量方法。目标及/或光学系统经设计以通过在对所述散射测量目标的照明后旋即建立零级衍射信号之间的180°相移而相对于来自所述散射测量目标的所述零级衍射信号增强第一级衍射信号。例如，所述目标可经设计以通过在对其照明后旋即产生零级衍射信号之间的第一相移而响应于偏振照明，且光学系统可经设计以通过偏振照明来照明所述目标且分析所得衍射信号以在对其照明后旋即产生零级衍射信号之间的第二相移。所述相移累加达180°以抵消所述零级衍射信号，其中每一相移介于0°与180°之间。