匀流板和工艺腔匀气装置

摘要

本公开提供了一种匀流板和工艺腔匀气装置，工艺腔匀气装置包括匀流板、第一隔离板和第二隔离板；匀流板包括第一表面开设的第一导流槽，与第一表面相对的第二表面开设的第二导流槽；至少一个第一出气孔。第一导流槽的至少一个第一进气端与第一气源相连通，第二导流槽的至少一个第二进气端与第二气源相连通。第一导流槽的至少一个第一出气端、第二导流槽的至少一个第二出气端通过至少一个第一出气孔相连通；第一隔离板封堵第一导流槽以及至少一个第一出气孔位于第一表面的一端。第二隔离板封堵第二导流槽，且包括至少一个第二出气孔，至少一个第二出气孔与至少一个第一出气孔相连通。