具有耐氯和氟等离子体侵蚀性的涂覆的半导体加工构件及其复合氧化物涂层

摘要

提供一种半导体加工构件，包括主体和设置在主体上的等离子体喷涂涂层。涂层是ABO或ABCO复合氧化物固溶体组合物，其中A、B和C选自La、Zr、Ce、Gd、Y、Yb和Si，并且O是氧化物。该涂层赋予耐氯等离子体侵蚀性和耐氟等离子体侵蚀性，减少等离子体蚀刻期间的颗粒产生，并防止在半导体加工构件的湿清洁期间涂层开裂。