老化测试的方法和老化测试的测量程序

摘要

一种老化测试的方法包括步骤(a)和(b)。在步骤(a)中，通过位于探针板(1，1’)上的第一探针(4，5)来执行第一半导体器件(DUT1，DUT2)的操作测试。在步骤(b)中，当执行操作测试时，通过位于探针板(1，1’)上的第二探针(6)将应力施加到第二半导体器件(DUT1’，DUT2’)。