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公开/公告号CN111707404B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-20
原文格式PDF
申请/专利权人 西安交通大学;
申请/专利号CN202010469840.8
发明设计人 赵玉龙;王鲁康;赵友;龚涛波;
申请日2020-05-28
分类号H01L29/84(20060101);G01L9/06(20060101);B81C1/00(20060101);
代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;
代理人姚咏华
地址 710049 陕西省西安市咸宁西路28号
入库时间 2022-08-23 11:39:44
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