具有高精度以及对温度和老化低敏感性的MEMS加速度度量传感器

摘要

MEMS加速度度量传感器包括承载结构以及由半导体材料制成的悬置区域。至少一个调制电极固定至承载结构并且采用指示了具有第一频率的至少一个周期性分量而偏置。由悬置区域以及由调制电极以该方式形成至少一个可变电容器以使得悬置区域经受取决于电调制信号的静电力。当加速度度量传感器经受加速度时，感测组件产生电感测信号，指示了悬垂区域相对于承载结构的位置，并且包括作为加速度以及第一频率的函数的频率调制分量。