压力传感器、压力测量系统及压力传感器的制造方法

摘要

本发明涉及压力传感器技术领域，公开了一种压力传感器、压力测量系统及压力传感器的制造方法。压力传感器包括透明衬底层以及在所述透明衬底层上依次设置的电极层、发光层和起电层，其中，所述电极层包括交叉设置的第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极在交叉处绝缘设置，当在所述起电层上施加的压力不大于第一压力阈值时，所述第一电极和所述第二电极用于输出对起电层施加压力产生的感应电压；当在所述起电层上施加的压力大于第一压力阈值时，所述发光层对应所述起电层施加压力处的位置发光。本发明实施例的压力传感器压力测量灵敏度较高，压力测量范围也较大，因而压力传感器具备较佳的产品品质。