一种用于物体振动测量的点衍射干涉装置及方法

摘要

本发明公开了一种用于物体振动测量的点衍射干涉装置及方法，包括：光源，发射初始光至光路处理模块；光路处理模块，将初始光转换为若干束出射光并入射至测量模块；测量模块，连接被测物体，采集入射光产生的干涉图并处理。单纵模激光器发出的激光经光路处理模块后射入测量模块；入射光经偏振数字相机前置的偏振片阵列后发生干涉；记录四步移相干涉图及各瞬态位置的干涉图；根据干涉图对不同瞬态位置空间三维坐标值进行分析，测量出物体振动过程。本发明通过将被测物体与测量探头固定，并利用偏振数字相机来采集振动过程中各个瞬态位置的干涉图，通过对各个瞬态位置的空间三维坐标进行分析，实现了对物体振动的测量，提高了装置的抗干扰能力。