一种Pm-147碳化硅缓变PN型同位素电池及其制作方法

摘要

本发明公开了一种Pm‑147碳化硅缓变PN型同位素电池及其制造方法，该同位素电池的结构自下而上包括N型欧姆接触电极，N型高掺杂SiC衬底，N型SiC外延层，N型SiC外延层，P型SiC外延层，P型SiC欧姆接触掺杂层，在P型SiC欧姆接触掺杂区的顶部中心处设有P型欧姆接触电极，在在P型SiC欧姆接触掺杂区的顶部除去P型欧姆接触电极的区域设有SiO₂钝化层，在SiO₂钝化层的上方设有Pm‑147放射性同位素源。本发明设计新颖合理，可以有效解决Pm‑147在材料深处的电离能量沉积的收集问题，有效提高了同位素电池的输出功率、能量转换效率。