一种激光干涉法低频振动校准的长冲程振动台导轨弯曲修正方法

摘要

本发明公开了一种激光干涉法低频振动校准的长冲程振动台导轨弯曲修正方法，采集固定于长冲程振动台导轨不同位置工作台面的圆形标志序列图像；然后利用基于Zernike矩的亚像素边缘检测方法提取序列图像的亚像素圆形特征边缘，并基于最小二乘法拟合圆求取相应的圆心坐标；以同一位置序列图像的拟合圆心坐标均值作为圆形标志的位置，基于视觉测量原理测量由导轨弯曲引起的振动台工作台面的位置变化，实现导轨弯曲的测量；最后利用计算的导轨弯曲修正基于激光干涉法的低频振动校准结果，以提高校准精度。本方法解决了现有激光干涉法无法满足高精度低频振动校准需求的不足。