激光干涉仪长度校准标准空气温度修正方法

摘要

通过对激光干涉仪长度校准标准主要不确定度来源的分析,得出其主要的来源是校准装置空气温度的影响。基于试验数据,分析了装置非线性分布空气温度产生的原因及平均温度修正方法对于涉仪长度校准的影响;提出了按权重分区间进行空气温度修正的方法,可控制空气温度测量对干涉仪长度校准的影响至2×10-8量级,提高激光干涉仪长度校准标准的精度。