新型激光比长仪实现激光干涉仪动态高精度校准

摘要

由中国计量科学研究院联合常州市计量测试技术研究所等单位研制的2台新型多功能1m激光比长仪装置分别在江苏省常州市计量测试技术研究所、无锡市计量测试中心实验室完成了线纹尺测量精度测试，实现了线纹尺测量不确定度U=（0．1＋0．1L）μm（k=3，L：m），重复性优于30nm，达到国内先进水平，可满足目前已有线纹尺的动态高精度校准需求，有效提升相关计量机构的一维长度精密测量水平。