加热管的气体泄漏检测装置以及加热管的气体泄漏检测方法

摘要

课题是提供能够可靠地检测来自形成有微细孔的加热管的气体泄漏的加热管的气体泄漏检测装置以及加热管的气体泄漏检测方法。作为解决手段，根据实施方式，具备收纳有加热体的内管(10a)和包围该内管而密闭的外管(10b)并利用压力调节机构(20)经由配管(30)将外管(10b)与内管(10a)之间的空间的气体压力调节为规定压力值的加热管(10)的气体泄漏检测装置具有：气体流动阻力部(21(213))，其设置于配管(30)，使气体局部性地难以流动；压力检测单元(23)，其在配管(30)中的气体流动阻力部(21)与加热管(10)之间检测外管(10b)与内管(10a)之间的空间的气体压力；以及泄漏判定单元(50)，其根据通过压力检测单元(23)得到的检测压力值来判定气体是否正在从加热管(10)泄漏。