一种TiAlN硬质涂层及其制备方法和应用

摘要

本发明属于涂层材料领域，公开了一种TiAlN硬质涂层及其制备方法。该方法对硬质合金基体进行抛光超声清洗，再吹干除尘后放入镀膜机腔室，加热腔体升温至400～600℃，使其真空度在1～6×10^‑3Pa，降温至300～400℃并恒温；通入Ar气，给工件转架加载偏压，对基体表面辉光清洗；调节Ar气流量，控制腔体气压，采用阴极弧蒸发沉积法点燃Zr靶，设置Zr靶电流和工件转架偏压，对基体进行金属离子刻蚀；关闭Ar气阀门通入N₂，调节腔室气压和工件转架偏压，点燃Ti₅₀Al₅₀靶并调节其电流，在基体表面沉积TiAlN硬质涂层。该TiAlN硬质涂层具有高的热稳定性和基体结合力。