TiAlN/TiSiNiN复合涂层、硬质涂层及其制备方法与应用

摘要

本发明涉及表面防护技术领域，特别是涉及一种TiAlN/TiSiNiN复合涂层及其制备方法与应用。本发明通过交替沉积TiAlN层和TiSiNiN层形成TiAlN/TiSiNiN复合涂层，并限定各层中各元素的质量百分比及相邻两层TiAlN层及TiSiNiN层的厚度，制得的复合涂层不仅具备TiAlN涂层的高硬度与高耐磨性，还具备了TiSiN涂层的抗高温氧化性；同时，通过引入Ni元素形成金属Ni相，作为界面相包裹在纳米晶相的周围，由于金属Ni相可以起到吸收塑性形变功和断裂功的作用，增强了涂层的断裂韧性。因此，该复合涂层兼具了高硬度、高耐磨性、优异的抗高温氧化性以及断裂韧性，有效提升了氮化钛系涂层的综合性能，并拓宽了应用场景。