先进复合物理气相沉积技术制备高性能硬质涂层

摘要

现代切削技术的发展对涂层刀具提出了愈加严苛的使用要求,且不同的难加工材料需要不同的定制化切削方案。无论是采用电弧离子镀还是磁控溅射工艺,传统单一涂层刀具已不能满足高速干式切削的加工需求。通过电弧离子镀与磁控溅射复合技术,制备具有超晶格结构的纳米多层涂层,不仅可显著提升涂层的力学性能、高温抗氧化性以及抗磨损性能,还能克服单一沉积工艺的技术缺陷。通过回顾电弧/溅射复合沉积的发展历程,总结了国内外的相关研究成果以及产业化进展,并分析了复合沉积工艺对涂层力学性能与切削寿命的影响。