一种磁致伸缩薄膜复合材料及其制备方法

摘要

一种磁致伸缩薄膜复合材料及其制备方法，所述薄膜复合材料由防护层、磁致伸缩层、柔性衬底层依次复合而成，所述磁致伸缩层的化学式为：(Tb_1‑xDy_x‑δN_δ)(Fe_1‑yM_y)_z，其中0.60≤x≤0.80，0≤y≤0.2，1.8≤z≤2.2，0≤δ≤0.3，M代表B、Al、Si、Ti、V、Cr、Mn、Co、Ni、Zn、Ga、Nb、Ta和W中1种或2种以上的组合，N代表除Tb和Dy以外的其它稀土元素中1种或2种以上的组合。本发明的磁致伸缩薄膜复合材料界面复合强度高、结构简单、有效避免了磁致伸缩层的损伤，具有良好的压磁系数(d₃₃)，交变频率涡流损耗小、性能稳定、尺寸轻薄，非常适合制备磁‑声换能器和超声波无损检测传感器。