公开/公告号CN112103201B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-16
原文格式PDF
申请/专利权人 无锡卓海科技有限公司;
申请/专利号CN202011016003.6
申请日2020-09-24
分类号H01L21/66(20060101);
代理机构32228 无锡华源专利商标事务所(普通合伙);
代理人聂启新
地址 214000 江苏省无锡市天山路6-2407
入库时间 2022-08-23 11:35:10
机译: 用于确定孔的直径,壁的内表面的高度和/或透明管或半透明的壁的内表面的曲率半径的设备;用于确定围绕一个几何轴弯曲的壁材料的内表面的曲率半径的仪器;确定对某些波长的激光透明的管状部件或半透明的壁的内表面的曲率半径的方法;和形成管状部件的透明或半透明的方法
机译: 在晶圆级自动校准集成芯片的方法和系统,用于在补偿晶圆级IC芯片的性能时直接向集成芯片传输直接电流
机译: 透明,plattenfoermiger体的楔角和边界表面曲率半径的测量方法