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公开/公告号CN110310882B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-12
原文格式PDF
申请/专利权人 清华大学深圳研究生院;
申请/专利号CN201910595864.5
发明设计人 倪凯;张冲;郭开泰;陈海;余泉;钱翔;王晓浩;
申请日2019-07-03
分类号H01J49/06(20060101);H01J49/02(20060101);G01N27/622(20210101);
代理机构44223 深圳新创友知识产权代理有限公司;
代理人王震宇
地址 518055 广东省深圳市南山区西丽大学城清华校区
入库时间 2022-08-23 11:34:52
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机译: 一种场效应晶体管的制造方法,所述场效应晶体管在所述门的电极和所述互连线之间具有电连接,所述互连线金属自对准,并且电路集成在所述合成物中
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