用于测量二维力或流体对固体压强及摩擦力的柔性传感器

摘要

本发明公开了一种用于测量二维力或流体对固体压强及摩擦力的柔性传感器。包括：底座、悬臂梁、应变片、电容下极板、电容上极板和超弹性材料制成的柔性冠；柔性冠，扣设于底座上，外侧上表面固定有被测材料，内部上壁中开设有与空腔相连通的测量槽，测量槽包括相连通的第一腔体与第二腔体；悬臂梁，位于柔性冠内，底端固定于底座上，顶端插入第一腔体；电容下极板，设置在悬臂梁的顶端；电容上极板，设置在第二腔体的顶壁上，与电容下极板相对，且在摩擦力方向上，电容下极板的尺寸大于电容上极板的尺寸；应变片，设置在悬臂梁的两侧面靠近底座的位置。本发明能够实现摩擦力与正压力之间的解耦，进而实现对摩擦力和正压力的精确测量。