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公开/公告号CN110165003B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-09
原文格式PDF
申请/专利权人 广东工业大学;
申请/专利号CN201910319519.9
发明设计人 肖也;陈梦诗;
申请日2019-04-19
分类号H01L31/0392(20060101);H01L31/04(20140101);H01L31/18(20060101);
代理机构44329 广东广信君达律师事务所;
代理人杨晓松
地址 510062 广东省广州市大学城外环西路100号
入库时间 2022-08-23 11:34:27
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