公开/公告号CN110686593B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-09
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院国家空间科学中心;
申请/专利号CN201910847311.4
申请日2019-09-09
分类号G01B11/00(20060101);
代理机构11472 北京方安思达知识产权代理有限公司;
代理人陈琳琳;王蔚
地址 100190 北京市海淀区中关村南二条1号
入库时间 2022-08-23 11:34:25
机译: 测量设备,一种测量方法,一种曝光设备以及一种制造设备的方法,能够精确地控制位置与空中图像之间的位置关系
机译: 相对于激光位移传感器的图像形成点和头单元的喷嘴的出口的相对位置的测量装置,用于该相对位置的该装置的糊剂分配器以及用于该相对位置的测量方法激光位移传感器的成像点的位置和使用此装置测量相对位置的头单元喷嘴的出口的位置
机译: 一种用于测量尤其是在无线电探空仪中的相对湿度的方法以及一种湿度传感器的方法