公开/公告号CN109300833B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-05
原文格式PDF
申请/专利权人 上海新创达智能科技有限公司;
申请/专利号CN201811098858.0
申请日2018-09-19
分类号H01L21/683(20060101);H01L21/67(20060101);
代理机构31251 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人冯健强
地址 201306 上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号2幢2区24144室
入库时间 2022-08-23 11:34:16
机译: 晶圆运输系统,使用该晶圆运输工厂的半导体制造厂结构以及一种晶圆运输方法,能够最大程度地提高集成度
机译: 运输设备和惯性晶圆对准末端执行器
机译: 晶圆运输容器内部大气测量设备,晶圆运输容器,晶圆运输容器内部清洁设备以及晶圆运输容器内部清洁方法