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一种射频发生器控制电路及射频发生器

摘要

一种射频发生器控制电路,包括控制模块、变换器模块和功放模块,所述控制模块设有DDS电路和比较器,DDS电路产生射频正弦信号,射频正弦信号通过比较器转换为方波信号输送到功放模块;控制模块连接变换器模块,控制模块控制变换器模块产生两路单极性波形,变换器模块对两路单极性波形叠加、处理后形成直流电压;所述直流电压为功放模块供电,功放模块即输出功率可调的射频电流。

著录项

  • 公开/公告号CN106873712B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-03-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京北方华创微电子装备有限公司;

    申请/专利号CN201710078057.7

  • 发明设计人 耿束建;薛年喜;周航;

    申请日2017-02-14

  • 分类号G06F1/02(20060101);

  • 代理机构11468 北京市科名专利代理事务所(特殊普通合伙);

  • 代理人陈朝阳

  • 地址 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号

  • 入库时间 2022-08-23 11:34:06

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