公开/公告号CN106873712B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-03-02
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方华创微电子装备有限公司;
申请/专利号CN201710078057.7
申请日2017-02-14
分类号G06F1/02(20060101);
代理机构11468 北京市科名专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人陈朝阳
地址 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
入库时间 2022-08-23 11:34:06
机译: 射频射频信号源,提供射频等离子体发生器和远程等离子体发生器
机译: 射频射频信号源,提供射频等离子体发生器和远程等离子体发生器
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