公开/公告号CN110896673B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-02-19
原文格式PDF
申请/专利权人 长江存储科技有限责任公司;
申请/专利号CN201980001849.1
申请日2019-08-23
分类号H01L27/11578(20170101);H01L27/11582(20170101);H01L27/11568(20170101);
代理机构11376 北京永新同创知识产权代理有限公司;
代理人张殿慧;刘健
地址 430074 湖北省武汉市东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
入库时间 2022-08-23 11:32:33
机译: 使用支撑结构形成三维存储器件的方法和所得到的三维存储器件
机译: 形成具有支撑结构的三维存储器件的方法,用于楼梯区
机译: 具有栅极线狭缝中的支撑结构的三维存储器件和用于形成相同的方法