公开/公告号CN111064897B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-02-19
原文格式PDF
申请/专利权人 北京图森智途科技有限公司;
申请/专利号CN201811209245.X
发明设计人 刘淼;
申请日2018-10-17
分类号H04N5/235(20060101);H04N17/00(20060101);
代理机构
代理人
地址 101300 北京市顺义区中关村科技园区顺义园临空二路1号
入库时间 2022-08-23 11:32:22
机译: 计算曝光评估值和成像设备的方法
机译: 计算曝光评估值和成像装置的方法
机译: 使用成像光学系统的曝光方法,具有成像光学系统的曝光设备,使用该曝光设备的微器件制造方法以及成像光学系统