一种激光辅助柔性随动式工具电极微细电沉积的装置及方法

摘要

本发明公开了一种激光辅助柔性随动式工具电极微细电沉积的装置及方法，涉及定域微细电沉积技术领域，通过使用柔性随动式工具电极限制电场分散区域以及电沉积的反应区域，提高电沉积的定域性以及构件的尺寸精度，通过控制柔性随动式工具电极的运动路径即可沉积出复杂形状的构件；由于激光具有高的功率密度，引入激光辐照改变照射区域的电极状态，加快离子扩散和电子转移速度，提高沉积速率，减少沉积体中麻孔、裂纹等缺陷，提高沉积质量，由电化学和激光两种能量的共同作用实现微细零件的制造。本发明主要用于微细零件的制造，能有效提高电化学沉积的定域性和零件的成形精度。