竖直液膜方法制备大长径比微细工具电极

摘要

利用COMSOL拟合进行电场仿真分析确定电流密度分布,通过实验研究了偏置量、电解液浓度和往复运动参数对所制备电极形貌的影响,从而制备微细工具电极。研究发现:在无偏置、0.2 mol/L的KOH条件下,采用竖直液膜电化学刻蚀方法可制备尺寸均匀的大长径比微细工具电极,并且往复运动有助于提高所制备电极的均匀性。