用于执行真空辅助的涂层方法的涂层腔，隔热板以及涂层方法

摘要

本发明涉及一种用于执行真空辅助的涂层方法的涂层腔(1)，尤其PVD或CVD或电弧涂层腔或混合涂层腔。涂层腔(1)包括布置在涂层腔(1)的可调温的腔壁(2)处的隔热板(3,31,32,33)以用于调整在隔热板(3,31,32,33)与可调温的腔壁(2)之间能规定量的热辐射的交换。根据本发明，隔热板(3,31,32,33)包括至少一个直接相邻于腔壁(2)的内侧(21)的可交换的辐射板(31)，其中，辐射板(31)的在朝腔壁(2)的方向上指向的第一辐射面(311)具有可规定的第一热交换系数(ɛ_D1)，且辐射板(31)的背对腔壁(2)的第二辐射面(312)具有可规定的第二热交换系数(ɛ_D2)，其中，第一热交换系数(ɛ_D1)大于第二热交换系数(ɛ_D2)。此外，本发明涉及一种用于涂层腔的隔热板以及涂层方法。