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公开/公告号CN108351597B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-02-09
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社尼康;
申请/专利号CN201680062678.X
发明设计人 八田澄夫;白泽正裕;木南贵之;五十岚淑人;
申请日2016-08-30
分类号G03F7/20(20060101);G02F1/13(20060101);H01L21/683(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人陈伟;闫剑平
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 11:31:31
机译: 光罩载体,曝光装置,光罩承载方法,光罩处理方法,装置制造方法和光罩覆盖管理方法
机译:传感器定位方法,定位系统,光刻设备,计量装置和器件制造方法
机译:激光多普勒光瓣器件的计量控制方法和装置
机译:切割装置和制造半导体器件的方法
机译:小直径工具切割叶片轮廓的光衍射机上测量方法(第一报告)单三维刀片轮廓测量装置的试验制造
机译:使用增材制造方法制造弹性体微流体装置。
机译:孔罩胶体纳米光刻技术与倾斜角旋转蒸发相结合:一种低成本大面积复杂等离激元纳米结构和超材料的通用制造方法
机译:具有金纳米颗粒的石墨烯氧化物器件中的非极性和互补电阻切换特性:装置制造的不同方法
机译:高性能结构层压复合材料,用于1000.degree。 F.及以上,其制造装置及其制造方法,以及由其制造的制品